京仪装备获得实用新型专利授权:“吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置”
作者:小微
发表于:2025年01月10日
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示京仪装备(688652)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置”,专利申请号为CN202323548526.7,授权日为2025年1月10日。
专利摘要:本实用新型涉及半导体设备技术领域,提供一种吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置。吸盘旋转组件包括吸盘组件和驱动部,吸盘组件适于吸附晶圆;驱动部与吸盘组件固定连接,适于带动吸盘组件旋转;驱动部包括架体和驱动电机组件,架体设有第一通孔;驱动电机组件固定连接于架体,驱动电机组件设有输出轴,输出轴穿过第一通孔与吸盘组件密封连接;输出轴的外侧壁与第一通孔的内侧壁之间设有密封空间,输出轴设有出气通道,架体设有进气通道;进气通道、密封空间、出气通道和吸盘组件依次连通。通过将输出轴与架体密封连接,在输出轴旋转的过程中,无需额外套设密封装置,有效减小了吸盘旋转组件在沿输出轴轴向上的高度,进而实现了小型化设计。
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今年以来京仪装备新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4470.99万元,同比增63.28%。
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数据来源:天眼查APP
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